Exigences des systèmes de compression d’air sans huile pour les usines de semi‑conducteurs
La fabrication de semi‑conducteurs impose des exigences très strictes en matière de propreté de l’air comprimé; des particules huileuses peuvent contaminer les lignes de production de plaquettes. Les compresseurs à vis sans huile, grâce à leur conception entièrement dépourvue de lubrification par huile, constituent le cœur du réseau d’alimentation en air propre des salles blanches. Dans la région de Nantong, ces équipements doivent impérativement répondre à la norme ISO 8573‑1 Classe 0, afin de garantir une absence totale d’huile dans l’air produit.
Étapes clés de la mise en service des compresseurs
- Calibrage des paramètres de pression et de température des circuits d’air et de refroidissement
- Vérification de la phase des engrenages d’entraînement du groupe moteur et du jeu entre les rotors
- Validation des logiques de commande interconnectées entre le sécheur, les filtres et le compresseur
- Essai de détection des fuites sur les conduites propres (≤0.1% /h)
Pannes courantes et points essentiels de maintenance
En fonctionnement, en cas d’élévation anormale de la température d’échappement, de fortes fluctuations de pression ou d’un dépassement du point de rosée, il convient de s’attacher à vérifier: l’obstruction du filtre d’admission, la dégradation de l’efficacité du ventilateur de refroidissement, l’usure des roulements de précision ainsi que la dérive des capteurs du système de contrôle. Les opérations de maintenance doivent être effectuées dans un environnement propre; tous les joints d’étanchéité et les éléments filtrants doivent satisfaire aux exigences de classe de propreté afin d’éviter toute contamination secondaire.
Support de services localisé
La région de Nantong et ses environs abritent une forte concentration de sites de production de semi‑conducteurs; une capacité de mise en service et de maintenance sur site à réponse rapide est donc essentielle. Il est recommandé d’établir un dispositif de surveillance régulière de l’état de fonctionnement, combinant l’analyse des tendances des données de vibration, de température et de courant électrique, afin d’identifier préventivement les risques potentiels de défaillance et d’assurer la continuité et la stabilité de l’alimentation en air des lignes de production.
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