Commande pneumatique et entraînement d’équipements d’automatisation
Dans les lignes de production de circuits intégrés, les équipements hautement automatisés constituent le cœur du processus. L’air comprimé sert à…Air propre et sec, il est largement utilisé comme source d’énergie pour les composants pneumatiques. Il entraîne diverses vannes pneumatiques, vérins et bras robotisés, assurant le transport et le positionnement précis des plaquettes de silicium à chaque étape du processus. Grâce à sa rapidité de réponse et à la douceur de ses mouvements, l’air comprimé garantit efficacement la stabilité des cadences de production et l’efficacité de fonctionnement des équipements.
Maintien de l’environnement des salles blanches et contrôle de la contamination
La fabrication des circuits intégrés doit s’effectuer dans des salles blanches aux normes de propreté extrêmement élevées. Le système d’air comprimé contribue à maintenir l’intérieur de la salle en fournissant en continu de l’air rigoureusement filtré.État de micro‑pression positiveCette atmosphère à pression positive permet d’empêcher efficacement l’infiltration d’air non filtré et de particules extérieures dans les zones de production. Par ailleurs, lors de la maintenance des équipements ou de travaux de rénovation partielle, l’air comprimé est également utilisé pour assurer une isolation temporaire et contrôler le flux d’air, afin de prévenir toute contamination croisée.
Purge et séchage de la surface des plaquettes de silicium
Après les procédés de nettoyage humide et de polissage chimico-mécanique des plaquettes, des résidus liquides ou de minuscules particules peuvent subsister à la surface. De l’air comprimé à haute pression et d’une propreté exceptionnelle est utilisé pour…Purge de surface, afin d’éliminer les particules adhérentes. Par ailleurs, dans certains procédés de séchage, l’air comprimé, associé à d’autres agents, permet d’accélérer l’évaporation et le décollement de l’eau à la surface des plaquettes, évitant ainsi que des traces d’eau ne perturbent les étapes ultérieures de lithographie ou de gravure.
Gaz pour instruments et appareils de mesure et auxiliaires de procédé
Les usines de semi-conducteurs abritent un grand nombre d’instruments de mesure et d’équipements d’analyse de haute précision. L’air comprimé fournit à ces appareils une alimentation stable…Source d’énergie pneumatiqueAvec les gaz de protection, on garantit l’exactitude des données de mesure. Dans certains procédés auxiliaires non critiques, tels que le refroidissement à l’intérieur des équipements, l’entraînement des outils pneumatiques ou encore le soufflage et l’essai d’étanchéité des réseaux de tuyauterie, l’air comprimé joue également un rôle irremplaçable.
Normes de qualité de l’air comprimé
En raison de la sensibilité extrême des circuits intégrés aux particules et à l’humidité, l’air comprimé utilisé sur les lignes de production doit satisfaire des normes de qualité très strictes. Il est généralement nécessaire d’installer un système de filtration multicouche afin d’éliminer les huiles, l’humidité et les particules de l’ordre du micromètre présents dans l’air. L’air…Point de rosée sous pressionIl est impératif de maintenir le niveau d’humidité à un seuil extrêmement bas afin d’éviter la condensation à l’intérieur des canalisations ou des équipements. Les technologies de compression sans huile et les dispositifs de séchage hautement performants constituent les équipements de base assurant la sécurité de la production de circuits intégrés.
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